| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 노광장비용 셔터조립체에 관한 것으로, 레이저 발진기로부터 노광장비로 레이저빔이 공급될 때 그 경로가 되는 본체와, 이 본체의 일측에 설치되어 레이저빔을 흡수 소멸시키는 빛 흡수판과, 상기 본체의 내부에 설치되어 레이저빔을 통과시키거나 차단시키는 셔터와, 이 셔터의 일측에 연결되어 셔터를 직선 운동시키는 실린더와, 상기 셔터의 상측에 설치되어 셔터의 위치를 감지하기 위한 발광부 및 수광부로 이루어진 포토 센서를 포함하여 구성되며, 따라서 기존의 미케니컬 센서가 가지고 있는 기능상의 결함, 즉 내부의 스프링 텐션이 약해짐으로 인해 셔터의 위치 파악 능력이 저하되는 문제를 포토센서로 대치하여 셔터의 작동 여부에 대한 감지 능력을 항상 일정하게 유지하도록 함으로써 노광장비로 공급되는 레이저빔의 공급 능력을 항상 일정하게 유지시키게 된다.</p> |
