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发明名称
SEMICONDUCTOR PROCESSING WORKPIECE SUPPORT WITH SENSORY SUBSYSTEM FOR DETECTION OF WAFERS OR OTHER SEMICONDUCTOR WORKPIECES
摘要
申请公布号
EP1027729(A1)
申请公布日期
2000.08.16
申请号
EP19980926388
申请日期
1998.06.08
申请人
SEMITOOL, INC.
发明人
HANSON, KYLE, M.
分类号
C25D7/12;H01L21/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
C25D7/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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