| 摘要 |
<p>본 고안은 레티클 체인저의 레티클용 이물제거장치에 관한 것으로, 레티클 스테이지에 레티클을 로딩시키는 레티클 로딩유니트의 전방에 설치되는 이물제거챔버와, 이 이물제거챔버의 일측에 설치되어 레티클의 상면에 질소 가스를 분사하여 레티클에 부착된 이물을 분리시키는 질소분사노즐과, 상기 이물제거챔버의 하면에 설치되어 레티클의 저면에 부착된 이물을 제거하기 위한 이온발생기와, 상기 이물제거챔버의 일측에 연결되어 레티클로부터 분리된 이물을 외부로 배기시키기 위한 배기펌프가 구비된 배기라인으로 구성되며, 이와 같은 레티클용 이물제거장치는 레티클이 레티클 스테이지로 이동하기 전에 레티클에 부착되어 있는 이물들을 제거해 줌으로써 이물에 의한 노광불량을 방지할 수 있게 되고, 또한 기존에서처럼 일일이 수작업에 의한 이물제거작업을 진행할 필요가 없으므로 인력 소모를 감소시키게 된다.</p> |
