| 发明名称 |
PRE-MAINTENANCE DEVICE OF CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR200191405(Y1) |
申请公布日期 |
2000.08.16 |
| 申请号 |
KR20000003989U |
申请日期 |
2000.02.15 |
| 申请人 |
ANAM SEMICONDUCTOR., LTD. |
发明人 |
YOON, DEA RYOUNG |
| 分类号 |
B24B55/00;(IPC1-7):B24B55/00 |
主分类号 |
B24B55/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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