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Das neue Verfahren zur Herstellung von reiner Flusssäure bzw. reinem Fluorwasserstoff ist dadurch gekennzeichnet, dass nach destillativer/oxidativer Vorbehandlung eine zweistufige Wäsche mit 65 bis 90 gew.-%iger Flusssäure bzw. 90 bis 100 gew.-%iger Flusssäure durchgeführt wird, wobei durch Einspeisen von Wasser in den ersten oder zweiten Waschkreislauf und Ausspeisen einer entsprechenden Menge Flusssäure Verunreinigungen entfernt werden.
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