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发明名称 WAFER TABLE OF COOL DOWN CHAMBER
摘要
申请公布号 KR200192643(Y1) 申请公布日期 2000.08.16
申请号 KR20000008264U 申请日期 2000.03.23
申请人 ANAM SEMICONDUCTOR., LTD. 发明人 AHN, JEONG HOON
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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