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发明名称 NOZZLE FOR SUPPLYING UNIT FOR UNIFORM FLOW OF SLURRY
摘要
申请公布号 KR200192990(Y1) 申请公布日期 2000.08.16
申请号 KR20000008003U 申请日期 2000.03.21
申请人 JEONG, HAE DO 发明人 JEONG, HAE DO;LEE, HO SIK;KIM, KYUNG JUN
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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