| 摘要 |
<p>본 고안에 의한 수평형 반응로의 도어 조립체는, 공정이 수행되는 튜브의 개구부를 복개하는 석영도어와, 그 석영도어의 안쪽면에 걸쳐지도록 삽입되는 석영바와, 상기 석영도어의 바깥쪽면에 밀착되도록 석영바의 외주면에 삽입되는 메인바와, 그 메인바와 일정간격을 두고 상기 석영바의 외주면에 삽입되는 지지바와, 그 지지바의 일측에 결합되어 장비 외부프레임을 복개하는 서스도어와, 그 서스도어와 일정간격을 두고 지지바의 외주면에 고정되는 보트 로더 프레임과, 그 보트 로더 프레임에 결합되어 다수개의 웨이퍼가 얹혀져 튜브 안쪽으로 삽입되는 칸틸레버 시스와, 상기 메인바와 지지바 사이에 장착되어 석영도어를 밀어주는 제1 스프링과, 상기 서스도어와 보트 로더 프레임 사이에 장착되어 상기한 서스도어를 밀어주는 제2 스프링으로 구성함으로써, 상기 각 스프링의 산화를 미연에 방지함과 아울러 상기 석영도어와 서스도어의 밀봉효과를 향상시키며, 특히 석영도어와 튜브 사이에 틈새가 발생되지 않아 확산불량을 미연에 방지하고, 각 부품의 수명을 연장시킬 수 있다.</p> |
