| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 웨이퍼 건조장치에 관한 것으로, 아이 피 에이 탱크(13)의 일측 상단부와 챔버(11)의 상단부를 연결하는 연결라인(20)을 설치하고, 그 연결라인(20) 상에 펌프(21)를 설치하여, 건조작업시 펌프(21)를 이용하여 아이 피 에이 탱크(13)에서 발생되는 아이 피 에이 증기의 일부를 펌핑하여 챔버(11)의 내측 상부로 블로잉함으로서, 웨이퍼(16)들의 상단부에도 계속 아이 피 에이 증기를 공급하게 되어 건조불량이 발생되는 것을 방지하게 된다.</p> |
