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发明名称 Method and device for automatically positioning samples relative to an ellipsometer
摘要
申请公布号 EP0950881(A3) 申请公布日期 2000.08.16
申请号 EP19990106726 申请日期 1999.04.01
申请人 NANOPHOTONICS AG 发明人 ABRAHAM, MICHAEL, DR.;DEPNER, OLIVER, DIPL.-ING.;EBERHARDT, MATTHIAS, DR.
分类号 G01B11/00;G01B11/26;G01J4/00;G01J4/04;G01N21/01;G01N21/13;G01N21/21;(IPC1-7):G01J4/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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