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发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG VON FLACHEN ÜBERGÄNGEN FÜR FELDEFFEKTTRANSISTOREN
摘要
申请公布号 AT194881(T) 申请公布日期 2000.08.15
申请号 AT19920118906T 申请日期 1992.11.04
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHWALKE, UDO;ZELLER, CHRISTOPH;ZEININGER, HEINRICH J.;HAENSCH, WILFRIED
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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