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发明名称 Source for vapor deposition
摘要
申请公布号 US2902574(A) 申请公布日期 1959.09.01
申请号 US19580712913 申请日期 1958.02.03
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 GUDMUNDSEN RICHARD A.;MYER JOHN H.
分类号 C23C14/24;H01L21/00 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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