发明名称 KRISTALLINE MEHRSCHICHTIGE STRUKTUR UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 AT194859(T) 申请公布日期 2000.08.15
申请号 AT19940913850T 申请日期 1994.04.27
申请人 CENTRUM BADAN WYSOKOCISNIENIOWYCH 发明人 POROWSKI, SYLWESTER;JUN, JAN;GRZEGORY, IZABELLA;KRUKOWSKI, STANISLAW;WROBLEWSKI, MIROSLAW
分类号 C30B29/40;C23C16/18;C30B11/00;C30B11/12;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/208;H01L33/00;H01L33/32;H01S5/00;H01S5/323;(IPC1-7):C30B11/00 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
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