| 发明名称 |
DISPOSITIVO PER MANEGGIARE SUBSTRATI MEDIANTE UN ISTEMA AUTOLIVELLANTE A DEPRESSIONE IN REATTORI EPISTASSIALI AD INDUZIONE CON SUSCETTORE DI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITMI990281(A1) |
申请公布日期 |
2000.08.14 |
| 申请号 |
IT1999MI00281 |
申请日期 |
1999.02.12 |
| 申请人 |
LPE SPA |
发明人 |
OGLIARI VINCENZO;POZZETTI VITTORIO;PRETI FRANCO |
| 分类号 |
B25J15/06;B25J9/10;B25J17/02;C30B25/02;H01L21/205;H01L21/677;H01L21/683 |
主分类号 |
B25J15/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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