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发明名称
摘要
申请公布号 JP3076954(B2) 申请公布日期 2000.08.14
申请号 JP19940249723 申请日期 1994.10.14
申请人 发明人
分类号 G01L9/00;G01B21/30;G01D5/16;G01D21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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