| 摘要 |
本发明的目的是开发出一种两物体间连接用之装置,特别是石英体及金属体间连接用之装置,该装置具有较少之简单形成之构成,但是,在高温度差异以及极低的压力下亦可确保甚高的密封能力,而且,其装配及拆卸均甚容易。两个由不同材料所制成之物体用之真空密封式连接装置包含一中间通道(130)以供中间吸气之用,该中间通道是在各管状端部(20,30)之间构成,另又包括二个密封该中间通道(130)用之密封件(100，150)，此二个物体基本上具有管状的端部(20,30),因而在连接状态下第一物体之管状端部(30)至少一部分包围第二物体之端部(20)。 |
| 主权项 |
1.一种二个由不同材料所构成之物体进行真空密 封式连接时所用之装置,特别是,石英体及 金属体间连接用之装置,此二个物体实质上具有管 状端部(20,30),因而在连接状态下第一 物体之管状端部(30)至少一部分包围第二物体之端 部(20),其特征为:在管状端部(20,30) 之间构成一中间通道(130),并且有两个密封件(100, 150)使该中间通道(130)被密封。2.如申请专利范围 第1项之装置,其中至少第一推力装置(90)在连接状 态下至少一部分是在 两管状端部(20,30)之间延伸,使得第一密封件(100)在 连接状态下被压紧在各管状端部(20 ,30)及推力装置(90)之间,而第一软的距离隔片(110) 则被装设在第一推力装置(90)及第二 物体的端部(20)之间。3.如申请专利范围第1项之装 置,其中在第一推力装置(90)内之空隙构成中间通 道(130)。4.如申请专利范围第2项之装置,其中在第 一推力装置(90)内之空隙构成中间通道(130)。5.一 种二个由不同材料所构成之物体进行真空密封式 连接时所用之装置,特别是,石英体及 金属体间连接用之装置,此二个物体实质上具有管 状端部(20,30),因而在连接状态下第一 物体之管状端部(30)至少一部分包围第二物体之端 部(20),其特征为具有:至少第一推力装 置(90),其在连接状态下至少一部份是在两管状端 部(20,30)之间延伸;第一密封件(100) ,其在连接状态下被压紧在各管状端部(20,30)及推 力装置(90)之间;第一软的距离隔片 (110),其被装设在第一推力装置(90)及第二物体的端 部(20)之间。6.如申请专利范围第1至第5项中任一 项之装置,其中第二推力装置(160)在连接状态下至 少 一部分是在第一推力装置(90)及第二物体的端部(20 )之间延伸,而第二密封件(150)则与第 一推力装置(90)以及第二物体之端部(20)互相配合 而被压紧。7.如申请专利范围第6项之装置,其中第 二软的距离隔片(170)则被装设在第二物体的端部 (20)及第二推力装置(160)之间。8.如申请专利范围 第1至第5项中任一项之装置,其中第三密封件(120) 则被装设在第一推力 装置(90)及第一物体的端部(30,34)之间。9.如申请专 利范围第6项之装置,其中第三密封件(120)则被装设 在第一推力装置(90)及第一 物体的端部(30,34)之间。10.如申请专利范围第2或 第5项之装置,其中距离隔片系由聚四氟乙烯(PTFE) 制成。11.如申请专利范围第1至第5项中任一项之 装置,其中第一及第二推力装置(90,160)实质上 是构成"L"形,因而第一推力装置(90)之第一臂(92)至 少一部分是在待连接之物体的各端部 (20,30)之间延伸,第二臂(94)至少一部分围绕第一物 体之端部(30)之端面(34),而第二推 力装置(160)之第一臂(162)至少一部分是在第一推力 装置(90)之第一臂(92)及第二物体之端 部(20)之间延伸,而第二推力装置(160)之第二臂(164) 则至少一部分围绕第一推力装置(90) 之第二臂(94)。12.如申请专利范围第1至第5项中任 一项之装置,其中第一及/或第二推力装置可用螺 钉而 与第一物体连接,而密封件则为"0"形环。13.如申请 专利范围第11项之装置,其中第一及/或第二推力装 置可用螺钉而与第一物体连 接,而密封件则为"0"形环。14.一种磊晶设备,该设 备具有一石英管以待别用来容纳待涂层的晶片,该 设备可藉由申请 专利范围第1至第13项中任一项之装置而与一金属 外壳相连接。15.如申请专利范围第14项之磊晶设 备,其中可封闭石英管之管状端部之波纹管是用来 容纳 石英管之纵向膨胀,因而在金属外壳,石英管之端 部及波纹管之间接设一种实质为环状的止 动元件。16.如申请专利范围第1至第5项中任一项 之装置,其中该中间通道是与一吸气设备连接,从 密封环(100,150)中通过之气体可经由该吸气设备而 由中间通道(130)排除。17.如申请专利范围第14或第 15项之磊晶设备,其中该中间通道是与一吸气设备 连接,从密 封环(100,150)中通过之气体可经由该吸气设备而由 中间通道(130)排除。图式简单说明: 第一图本发明之连接装置。 |
