SENSOR FOR MEASURING A MAGNETIC FIELD

摘要

Es wird ein Sensor zur Messung eines Magnetfeldes beschrieben, der im Vergleich zur Hall-Sonde eine hohe Messempfindlichkeit aufweist. Der Sensor ist aus mehreren elektrisch halbleitenden Schichten, die in Form einer in Sperrichtung geschalteten Leistungsdioden, bestehend aus einer Anodenschicht, einer Kathodenschicht und einer dazwischen eingeschlossenen eigentleitenden Schicht, angeordnet sind, aufgebaut. Die Anodenschicht ist durch Isolationsabschnitte in mehrere voneinander isolierte Anodenschichtbereiche unterteilt. Die Kathodenschicht weist auf den den Isolationsabschnitten gegenüberliegenden Bereichen einen entgegengesetzt dotierten Injektorbereich auf. Durch das Anlegen einer Injektionsspannung an diesen Injektorbereich wird zwischen Injektorbereich und Anode ein Elektronenstrahl ausgebildet, der sich in Form gleichmässiger Teilströme auf die geerdeten Anodenschichtbereiche verteilt. Durch ein in der eigenleitenden Schicht auftretendes Magnetfeld wird der Elektronenstrahl abgelenkt, was zu verschieden grossen Teilströmen auf den geerdeten Anodenschichtbereichen führt. Durch die Messung dieser Grössenunterschiede der Teilströme kann das vorhandene Magnetfeld berechnet werden.