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<p>In einem Verfahren zur Funktionsüberprüfung von Speicherzellen (MC) eines integrierten Halbleiterspeichers wird eine erste Gruppe (1) der Speicherzellen geprüft. Die Prüfergebnisse (A, B) werden, für jede geprüfte Speicherzelle getrennt, in wenigstens dreifacher Kopie in einer zweiten Gruppe (2) der Speicherzellen (MC) zwischengespeichert. Es erfolgt ein Vergleich zwischen den Kopien jedes der Prüfergebnisse (A, B) und deren Auswertung. Die Adressen der jeweiligen Speicherzellen der zweiten Gruppe (2) werden über eine Adreßtransformation (T) bestimmt. Diese ist so ausgelegt, daß signifikante Häufungen von Funktionsfehlern in einer fehlerbehafteten zweiten Gruppe (2) der Speicherzellen (MC) das Ergebnis des Prüfverfahrens nicht beeinflussen.</p> |
