Elektrostatisch durchstimmbare Kapazität und Verfahren zum Herstellen derselben

摘要

Eine elektrostatisch durchstimmbare Kapazität umfaßt eine nicht-bewegliche Elektrode und eine bewegliche Elektrode. Die nicht-bewegliche Elektrode ist in einer Vertiefung einer ersten Hauptoberfläche eines Substrats angeordnet. Die bewegliche Elektrode ist in einer Funktionsschicht, die mit dem ersten Substrat verbunden ist, in einem Bereich gebildet, der der Vertiefung in dem Substrat im wesentlichen gegenüberliegt. Die nicht-bewegliche Elektrode ist derart in der Vertiefung des Substrats angeordnet, daß die nicht-bewegliche Elektrode von der Funktionsschicht beabstandet ist.