| 发明名称 |
IMPROVED PROCESS FOR PRODUCTION OF THIN LAYERS OF SEMICONDUCTOR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1025580(A2) |
申请公布日期 |
2000.08.09 |
| 申请号 |
EP19990915996 |
申请日期 |
1999.05.10 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
EGLOFF, RICHARD |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/265;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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