微小位移的半导体激光干涉测量仪

摘要

一种微小位移的半导体激光干涉测量仪,包括同光轴地依次置有原光源、第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体;偏振分束器反射光束的方向上置有第二透镜和调制光源。调制光源和原光源均为半导体激光器。原光源的波长是通过正弦信号发生器与驱动器来控制调制光源的光强正弦变化,调制光源的输出光强加于原光源上,利用光热效应来调制的。而原光源输出光强不随时间变化,避免了已有技术中的补偿问题,提高了测量精度,使用操作简便。

主权项

1.一种微小位移的半导体激光干涉测量仪，包括：<1>带第一直流电源(10)的原光源(1)发射光束前进的方向上同光轴地依次置有第一透镜(2)、分束器(3)、参考平板(18)和被测物体(5)，上述各部件除被测物体(5)外均置于机壳(19)内；<2>在分束器(3)的反射光束(f2)上置有输出与连接到机壳(19)外的计算机(8)上的模数转换器(7)连接的接收元件(6)；其特征在于：<3>在第一透镜(2)与分束器(3)之间同光轴地置有偏振分束器(17)；<4>在偏振分束器(17)反射光束(f1)的方向上，依次置有第二透镜(16)和调制光源(15)；<5>调制光源(15)带有连接有第二直流电源(14)和移相器(13)的驱动器(9)，其中移相器(13)经过正弦信号发生器(11)与连接到机壳(19)外的模数转换器(7)的控制器(12)相连。