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发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR CLEANING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES AFTER POLISHING OF COPPER FILM
摘要
申请公布号 EP1025582(A1) 申请公布日期 2000.08.09
申请号 EP19980952111 申请日期 1998.10.06
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 ZHANG, LIMING;ZHAO, YUEXING;HYMES, DIANE, J.;KRUSELL, WILBUR, C.
分类号 C11D1/00;C11D3/02;C11D7/02;C11D7/08;C11D7/26;C11D11/00;C23G1/10;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/3205;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/00 主分类号 C11D1/00
代理机构 代理人
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