Flange keyed of chemical vapor deposition system

摘要

본 고안에 따른 화학기상증착 장치의 플랜지 키드를 제시한다. 본 고안은 사프트와 결합되는 플랜지 키드의 접합면 일측에 홈을 형성한다. 따라서, 열이나 가스 등의 외부 영향에 의해 사프트가 플랜지 키드에 끼이거나 접착되는 것을 방지할 수 있으며 또한, 플랜지 키드와 사프트간의 분해 및 조립을 용이하게 실시할 수 있다.