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发明名称 Interconnecttion forming method using an inorganic antireflection layer
摘要
申请公布号 GB2346261(A) 申请公布日期 2000.08.02
申请号 GB20000001696 申请日期 2000.01.25
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 MASAHIKO * OHUCHI
分类号 H01L21/302;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/28 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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