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发明名称 HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100260117(B1) 申请公布日期 2000.08.01
申请号 KR19930021320 申请日期 1993.10.14
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 MIYAGI, KATSUSIN;YAMAHARA, MIYUKI
分类号 C23C16/46;C23C16/54;C30B25/10;C30B31/12;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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