| 发明名称 |
METHOD OF MOUNTING A TARGET PLATE TO BE COOLED INTO A VACUMM PROCESS CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100263136(B1) |
申请公布日期 |
2000.08.01 |
| 申请号 |
KR19920007833 |
申请日期 |
1992.05.08 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
KERSCHBAUMER JOERG |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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