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发明名称
摘要
申请公布号
JP3070511(B2)
申请公布日期
2000.07.31
申请号
JP19970079886
申请日期
1997.03.31
申请人
发明人
分类号
F26B17/10;F26B5/14;F26B21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
F26B17/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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