发明名称 |
CAPACITIVE ABSOLUTE PRESSURE SENSING ELEMENT AND METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
PL179139(B1) |
申请公布日期 |
2000.07.31 |
申请号 |
PL19950320670 |
申请日期 |
1995.11.09 |
申请人 |
CASE WESTERN RESERVE UNIVERSITY |
发明人 |
KO WEN H. |
分类号 |
G01L9/12;G01L7/08;G01L9/00;H01C7/00;H01L29/84;(IPC1-7):H01G7/00 |
主分类号 |
G01L9/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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