发明名称 SYSTEME ET PROCEDE D'IDENTIFICATION D'EFFLUENTS GAZEUX, EQUIPEMENT POURVU D'UN TEL SYSTEME
摘要 <P>L'invention concerne un système d'analyse de gaz dans une enceinte (3) sous pression contrôlée comprenant un dispositif (2, 6) pour ioniser les gaz à analyser, et un dispositif (4, 5) d'analyse des gaz ionisés,selon l'invention, le système comprend :- le dispositif (2, 6) pour ioniser les gaz à analyser comprend une source de plasma 2 dédiée, au contact des gaz contenus dans l'enceinte (3), combinée avec un générateur (6), générant un plasma à partir des gaz à analyser; et - le dispositif (4, 5) d'analyse des gaz ionisés comprend un capteur de radiation (4), situé à proximité de la zone de génération du plasma, connecté à un spectromètre optique (5) analysant l'évolution du spectre radiatif, émis par le plasma généré.</P>
申请公布号 FR2788854(A1) 申请公布日期 2000.07.28
申请号 FR19990000723 申请日期 1999.01.22
申请人 ALCATEL 发明人 CHEVALIER ERIC;MAQUIN PHILIPPE;BERNARD ROLAND
分类号 C23C16/52;G01N21/68;G01N21/73;(IPC1-7):G01N21/62;G01N33/00;H05H1/46 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
主权项
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