发明名称 PROCEDE D'IMPLANTATION DE DISPOSITIF A SEMICONDUCTEURS
摘要 <P>Un procédé d'implantation d'un dispositif à semiconducteurs comprend l'agencement de régions actives d'une pluralité de transistors comportant au moins plus d'une première et deuxième électrodes disposées sur un substrat, l'agencement d'une pluralité de grilles de transistors entre plus d'une première et deuxième électrodes de ces régions actives, respectivement, en positionnant au moins plus d'une grille ayant une largeur et une longueur prédéterminées à un espacement constant sur le substrat, et l'agencement d'une pluralité de grilles factices (DG1, DG2, DG3, DG4, DG5, DG6) ayant une largeur et une longueur prédéterminées entre une pluralité de transistors, ou entre les transistors et à l'extérieur de ceux-ci, avec un espacement identique à celui des grilles des transistors sur le substrat, de telle sorte que toutes les grilles des transistors soient agencées à un espacement constant.</P>
申请公布号 FR2788881(A1) 申请公布日期 2000.07.28
申请号 FR19990015347 申请日期 1999.12.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD 发明人 KANG TAE GYOUNG
分类号 H01L27/108;H01L21/027;H01L21/8242;H01L27/02 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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