| 发明名称 | 化学放大型正光刻胶组合物 | ||
| 摘要 | 提供了一种正光刻胶组合物,该组合物包括一种含有下式(Ⅰ)代表的2－烷基－2－金刚烷基(甲基)丙烯酸酯聚合单元的树脂:其中R<SUP>1</SUP>代表氢或甲基和R<SUP>2</SUP>代表烷基,该树脂不溶或几乎不溶于碱,但在酸的作用下能变成溶于碱;和一种下式(Ⅴ)代表的酸发生剂:其中Q<SUP>1</SUP>、Q<SUP>2</SUP>和Q<SUP>3</SUP>独立地代表氢、羟基、含1—6个碳原子的烷基或含1—6个碳原子的烷氧基,n是4—8的整数;该光刻胶被ArF激发物激光曝光后具有良好的分辨率并且几乎无基体依赖性。 | ||
| 申请公布号 | CN1261171A | 申请公布日期 | 2000.07.26 |
| 申请号 | CN00100303.8 | 申请日期 | 2000.01.17 |
| 申请人 | 住友化学工业株式会社 | 发明人 | 上谷保则;井上博贵 |
| 分类号 | G03F7/039 | 主分类号 | G03F7/039 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 严舫 |
| 主权项 | 1.一种正光刻胶组合物，包括一种树脂，该树脂含有下式(I)代表的2-烷基-2-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯聚合单元：<img file="A0010030300021.GIF" wi="630" he="427" />其中R<sup>1</sup>代表氢或甲基和R<sup>2</sup>代表烷基，该树脂不溶或几乎不溶于碱，但在酸的作用下能变成溶于碱，和一种下式(V)代表的酸发生剂：<img file="A0010030300022.GIF" wi="785" he="418" />其中Q<sup>1</sup>、Q<sup>2</sup>、Q<sup>3</sup>独立地代表氢、羟基、含1-6个碳原子的烷基或含1-6个碳原子的烷氧基，n是4-8的整数。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||