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发明名称 Illumination system and exposure apparatus
摘要
申请公布号 EP0867772(A3) 申请公布日期 2000.07.26
申请号 EP19980302129 申请日期 1998.03.20
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 TSUJI, TOSHIHIKO
分类号 G02B27/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G02B27/00
代理机构 代理人
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