LÖSEMITTELSYSTEM FÜR POSITIV-ARBEITENDE PHOTORESISTE,申请号DE19966005821T-传众专利搜索

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发明名称	LÖSEMITTELSYSTEM FÜR POSITIV-ARBEITENDE PHOTORESISTE
摘要
申请公布号	DE69605821(T2)	申请公布日期	2000.07.27
申请号	DE19966005821T	申请日期	1996.12.17
申请人	CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN	发明人	WANAT, STANLEY;RAHMAN, M.;KHANNA, DINESH;AUBIN, DANIEL;DIXIT, SUNIT
分类号	G03F7/004;G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004	主分类号	G03F7/004
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