| 发明名称 |
Electrostatic chucks for particle deposition |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2345870(A) |
申请公布日期 |
2000.07.26 |
| 申请号 |
GB20000001824 |
申请日期 |
1997.04.09 |
| 申请人 |
* SARNOFF CORPORATION |
发明人 |
HOI CHEONG STEVE * SUN;TIMOTHY ALLEN * PLETCHER |
| 分类号 |
A61K9/20;A61K9/28;B05B5/08;H02N13/00;(IPC1-7):H02N13/00;B05C13/00;B05D1/04 |
主分类号 |
A61K9/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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