Vernetzbare, wässrig entwickelbare Photoresistzusammensetzung,申请号DE19926031175-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Vernetzbare, wässrig entwickelbare Photoresistzusammensetzung
摘要
申请公布号	DE69231175(D1)	申请公布日期	2000.07.20
申请号	DE19926031175	申请日期	1992.10.23
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK	发明人	SACHDEV, HARBANS SINGH;CONLEY, WILLARD EARL;JAGANNATHAN, PREMLATHA;KATNANI, AHMAD DAUOD;WAI-LING KWONG, RANEE;LINEHAN, LEO LAWRENCE;MIURA, STEVE SEIICHI;SMITH, RANDOLPH JOSEPH
分类号	G03F7/004;G03F7/038;G03F7/075;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/038	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
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