| 发明名称 |
Menetelmä ohutkalvon kasvattamiseksi substraatille |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FI20001694(A0) |
申请公布日期 |
2000.07.20 |
| 申请号 |
FI20000001694 |
申请日期 |
2000.07.20 |
| 申请人 |
ASM MICROCHEMISTRY OY, |
发明人 |
SOININEN,PEKKA T.;LINDFORS,SVEN |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;(IPC1-7):C23C |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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