Aufgeschichtete Dünnfilm-Zusammenfügung und Verfahren zu ihrer Bildung,申请号DE19946021989T-传众专利搜索

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发明名称	Aufgeschichtete Dünnfilm-Zusammenfügung und Verfahren zu ihrer Bildung
摘要
申请公布号	DE69421989(T2)	申请公布日期	2000.07.20
申请号	DE19946021989T	申请日期	1994.09.26
申请人	TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS	发明人	MIZOBUCHI, KOICHI;SUGIURA, TOSHIHIRO
分类号	C23C16/06;C23C28/02;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):C23C16/06	主分类号	C23C16/06
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