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发明名称 Composition for anti-reflection coating
摘要
申请公布号 EP0803776(B1) 申请公布日期 2000.07.19
申请号 EP19970105624 申请日期 1997.04.04
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED 发明人 YOSHIDA, TAKEO;TANAKA, HATSUYUKI
分类号 G03F7/11;C09D5/00;C09D7/12;C09D137/00;C09D139/06;C09D183/04;C09D183/06;G03F7/004;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
主权项
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