发明名称 Semiconducteur stubstrate structure for use in power IC device
摘要
申请公布号 EP0420672(B1) 申请公布日期 2000.07.19
申请号 EP19900310645 申请日期 1990.09.28
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 OGURA, TSUNEO;NAKAGAWA, AKIO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/761;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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