非接触式平面特征三维自动测试仪

摘要

非接触式平面特征三维自动测试仪,包括机械装置、光路组合装置、电路、计算系统、终端和电源。机械装置由抗震工作台,工作台上放置被测物的移动的平台,设置在工作台面导轨上移动的龙门支架,龙门支架横梁上设置移动的光路组合装置平台,光路组合装置平台上设置上、下移动物镜镜头的微调装置;电路由光路上设置的光、电调制器,副载频发生器、解调器,鉴相电路和运算电路组成;计算系统由计算软件控制,设置在运算电路中。

主权项

1、一种非接触式平面特征三维自动测试仪，包括机械装置、光路组合装置、电路、计算系统、终端和电源，其特征在于：机械装置由抗震工作台，工作台上放置被测物的、可水平X、Y方向移动的平台，设置在工作台面的导轨上的、可沿Y或X向移动的龙门支架，龙门支架横梁上设置的、可沿X或Y方向移动的光路组合装置平台，光路组合装置平台上设置的、可沿Z方向上、下移动物镜镜头的微调装置组成；光路组合装置由激光光源，一组主分光镜，两组副分光镜箱、两支半透镜和物镜组成，安装在机械装置的光路组合装置平台上；电路由在分光光路上设置的光、电调制器，副载频发生器、解调器，鉴相电路和运算电路组成；计算系统由计算软件控制，设置在运算电路中；终端包括显示器和打印机，与电路输出端连接；电源给整机各部分用电器供电。