发明名称 双真空室双频测相空气折射率干涉仪
摘要 本发明属于激光技术领域,包括将横向塞曼激光器发出的光分成两束并反射出的分光板,与光轴垂直设置的补偿环及置于其中的1/4波片,直角四面体反射镜,以及设置在1/4波片与直角四面体反射镜之间与光轴平行的两个不同长度的真空室,接收反射回光的偏振分光棱镜和全反射棱镜,两个光电探测器和一个相位计,以及与相位计相连的数据处理器。本发明可提高测量的精度和分辨率,可组成便携式仪器,对环境振动、光束漂移具有自适应性。
申请公布号 CN1260484A 申请公布日期 2000.07.19
申请号 CN00103053.1 申请日期 2000.02.25
申请人 清华大学 发明人 殷纯永;王泽民;赵淳生;武三峨;郭松灵
分类号 G01N21/45 主分类号 G01N21/45
代理机构 清华大学专利事务所 代理人 廖元秋
主权项 1.一种双真空室双频测相空气折射率干涉仪,其特征在于包括:发出正交线偏振光的横向塞曼激光器,将该激光器发出的光分成两束并在垂直方向反射出的分光板,与该分光板反射出的光的光轴垂直设置的补偿环及置于其中的1/4波片,直角四面体反射镜,以及设置在所说的1/4波片与直角四面体反射镜之间与光轴平行的两个不同长度的真空室,所说的两个真空室固定在一个由超声直线电机带动的将两个真空管送入干涉光路的拖动台上,还包括接收该分光板反射回光的偏振分光棱镜和全反射棱镜,接收所说的偏振分光棱镜和全反射棱镜出射光的两个光电探测器和一个相位计,以及与该相位计相连的数据处理器。
地址 100084北京市海淀区清华园