发明名称 |
Procedure and apparatus for testing the function of a multitude of active microstructure elements |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Testen der Funktion einer Vielzahl von Mikrostrukturbauelementen durch Bestrahlen mit einem Korpuskularstrahl, wobei in einer ersten Testsequenz alle als fehlerhaft detektierten Mikrostrukturbauelemente in einer ersten Fehlerliste aufgeführt werden, die in der ersten Fehlerliste aufgeführten Mikrostrukturbauelemente in wenigstens einer weiteren Testsequenz erneut getestet und zumindest das Ergebnis der zuletzt durchgeführten Testsequenz zur Ermittlung des Gesamttestergebnisses ausgewertet werden. Dabei ist die erste Testsequenz derart angelegt, daß dabei möglichst alle tatsächlich fehlerhaften Mikrostrukturbauelemente erfaßt werden. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturbauelementen, die in einer Vielzahl auf einem Substrat aufgebaut und nach dem obigen Testverfahren getestet werden. <IMAGE></p> |
申请公布号 |
EP1020732(A2) |
申请公布日期 |
2000.07.19 |
申请号 |
EP20000100915 |
申请日期 |
2000.01.18 |
申请人 |
ETEC EBT GMBH |
发明人 |
BRUNNER, MATTHIAS, DR.;SCHMID, RALF, DR. |
分类号 |
G01R31/302;G01N23/225;G01R1/06;G01R31/26;G01R31/307;G01R31/311;G02F1/13;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/307 |
主分类号 |
G01R31/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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