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发明名称
High purity titanium sputtering targets
摘要
申请公布号
EP0785292(B1)
申请公布日期
2000.07.19
申请号
EP19960120376
申请日期
1994.09.20
申请人
JAPAN ENERGY CORPORATION
发明人
SAWADA, SUSUMU;NAGASAWA, MASARU;HIDEAKI, FUKUYO
分类号
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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