发明名称
摘要
申请公布号 JP3067141(B2) 申请公布日期 2000.07.17
申请号 JP19890299267 申请日期 1989.11.17
申请人 发明人
分类号 C23C16/48;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/48 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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