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发明名称
摘要
申请公布号
JP3067288(B2)
申请公布日期
2000.07.17
申请号
JP19910178075
申请日期
1991.07.18
申请人
发明人
分类号
H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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