发明名称
摘要
申请公布号 JP3065672(B2) 申请公布日期 2000.07.17
申请号 JP19910002292 申请日期 1991.01.11
申请人 发明人
分类号 H01L27/118;H01L21/82;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/118;H01L21/823 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
主权项
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