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发明名称 WAFER POSITION SENSOR OF SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR200189248(Y1) 申请公布日期 2000.07.15
申请号 KR20000003992U 申请日期 2000.02.15
申请人 ANAM SEMICONDUCTOR.,LTD. 发明人 KANG, IG SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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