发明名称 |
ANORDNUNG UM DAS NACHTROPFEN VON FLÜSSIGKEITEN AUS LEITUNGEN ZU VERHINDERN |
摘要 |
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申请公布号 |
ATA157897(A) |
申请公布日期 |
2000.07.15 |
申请号 |
AT19970001578 |
申请日期 |
1997.09.18 |
申请人 |
SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG |
发明人 |
PIRKER WILLIBALD;SUMNITSCH FRANZ |
分类号 |
B05C11/10;B67C3/26;(IPC1-7):B67C3/26;B67D5/28 |
主分类号 |
B05C11/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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