发明名称 ANORDNUNG UM DAS NACHTROPFEN VON FLÜSSIGKEITEN AUS LEITUNGEN ZU VERHINDERN
摘要
申请公布号 ATA157897(A) 申请公布日期 2000.07.15
申请号 AT19970001578 申请日期 1997.09.18
申请人 SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG 发明人 PIRKER WILLIBALD;SUMNITSCH FRANZ
分类号 B05C11/10;B67C3/26;(IPC1-7):B67C3/26;B67D5/28 主分类号 B05C11/10
代理机构 代理人
主权项
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