| 发明名称 |
DEVELOPING METHOD FOR RESIST AND DEVELOPER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100261717(B1) |
申请公布日期 |
2000.07.15 |
| 申请号 |
KR19980017459 |
申请日期 |
1998.05.15 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
DANAKA, YASUHARU;MIDORIKAWA, DERUYOUKI |
| 分类号 |
G01N21/59;G01N27/06;G02B5/20;G02F1/1335;G03F7/00;G03F7/26;G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):G02F1/13 |
主分类号 |
G01N21/59 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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