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发明名称 VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 AT194437(T) 申请公布日期 2000.07.15
申请号 AT19910106331T 申请日期 1991.04.19
申请人 HAUZER INDUSTRIES BV 发明人 MUENZ, WOLF-DIETER, DR.;HAUZER, FRANSISCUS J.M.;BUIL, BOUDEWIJN J.A.;SCHULZE, DIETMAR, DR.;TIETEMA, ROEL
分类号 C23C14/32;C23C14/35;C23F4/00;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/34 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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